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    實績規格

    軸別 X軸(下軸) Y軸(上軸)
    有效行程 350mm 1100mm
    負載 180kg 100kg
    最大速度 300 mm/sec 1000 mm/sec
    最大加速度 4 m/s²
    重現精度 ± 1 μm
    絕對精度 ± 3 μm (ACS控制器軟體補償後)
    垂直度 ± 12 μrad (±2.5 arc-sec)
    Yaw < arc-sec
    Pitch < 2 arc-sec
    整定時間 25 mm < 300 ms
    速度瀲波 200 mm/sec < 0.2 %
    線性光學尺 Renishaw_0.1μm 
    傳動元件 線性馬達
    控制器 ACS