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實績規格
軸別 |
X軸(下軸) |
Y軸(上軸) |
有效行程 |
500mm |
400mm |
重現精度 |
< 1μm |
絕對精度 |
< 2μm (軟體補償後) |
垂直度 |
< 3 arc-second |
Yaw |
< 2 arc-second |
< 5 arc-second |
Pitch |
< 2 arc-second |
< 5 arc-second |
直線精度 |
< 2μm |
< 2μm |
平面精度 |
< 2μm |
< 2μm |
最大速度 |
500mm/sec |
最大加速度 |
5 m/s² |
線性光學尺 |
Renishaw_ 0.1μm |
Renishaw_50nm |
馬達種類 |
線性馬達 |
線性馬達 |