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    實績規格

    軸別 X軸(下軸) Y軸(上軸)
    有效行程 500mm 400mm
    重現精度 < 1μm
    絕對精度 < 2μm (軟體補償後)
    垂直度 < 3 arc-second
    Yaw < 2 arc-second < 5 arc-second
    Pitch < 2 arc-second < 5 arc-second
    直線精度 < 2μm < 2μm
    平面精度 < 2μm < 2μm
    最大速度 500mm/sec
    最大加速度 5 m/s²
    線性光學尺 Renishaw_ 0.1μm Renishaw_50nm
    馬達種類 線性馬達 線性馬達