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實績規格
軸別 X軸(下軸) Y軸(上軸) 有效行程 500mm 400mm 重現精度 < 1μm 絕對精度 < 2μm (軟體補償後) 垂直度 < 3 arc-second Yaw < 2 arc-second < 5 arc-second Pitch < 2 arc-second < 5 arc-second 直線精度 < 2μm < 2μm 平面精度 < 2μm < 2μm 最大速度 500mm/sec 最大加速度 5 m/s² 線性光學尺 Renishaw_ 0.1μm Renishaw_50nm 馬達種類 線性馬達 線性馬達