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    實績規格

    軸別 上軸 下軸
    有效行程 500mm 500mm
    線性光學尺 Renishaw_0.1μm Renishaw_0.1μm
    重現精度  < 1μm
    直線精度 < 1μm
    平面精度  < 5μm
    Pitch < 5arc sec
    Yaw < 4arc sec
    最大速度 200 mm/sec
    馬達種類 線性馬達
    抗震等級 VCC
    機架 方管焊接研磨機架