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    實績規格

    軸別 X軸(上軸) Y軸(下軸)
    有效行程 800mm 800mm
    負載 100kg 100kg
    重現精度 1μm/500mm 1μm/500mm
    直線精度 8μm/500mm 5μm/500mm
    平面精度 15μm/500mm 10μm/500mm
    最大速度 200mm/sec 200mm/sec
    馬達種類 線性馬達 線性馬達
    線性光學尺 RENISHAW_0.1μm RENISHAW_0.1μm
    底座材質 方管焊接研磨件 花崗岩