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    實績規格

    軸別 X1 X2 Y1 Y2 Z1 Z2
    馬達種類 線性馬達 線性馬達 線性馬達 線性馬達 伺服馬達 棒狀馬達
    有效行程 (m) >0.2 >0.45 >0.4 >0.5 >0.05  >0.12 
    負載 (kg) 75 75 25 25 3 6
    最大速度 (m/s) 0.9 0.9 0.9 0.9 0.1 0.7
    最大加速度 (m/s²) 2 2 2 2 - 1.5
    絕對精度 (μm) 5 (軟體補償後) 5 (軟體補償後) 5 (軟體補償後) 5 (軟體補償後) 20 5 (軟體補償後)
    重覆精度 (μm) 2 2 2 2 5 2
    直線度 (μm) 10μm/200mm 10μm/300mm 10μm/300mm 10μm/400mm 10μm/50mm 10μm/100mm
    平面度 (μm) 10μm/200mm 10μm/300mm 10μm/300mm 10μm/400mm 10μm/50mm 10μm/100mm
    線性光學尺 Renishaw_ 0.1μm Renishaw_ 0.1μm Renishaw_ 0.1μm Renishaw_ 0.1μm - Renishaw_ 0.1μm
    垂直度 (arc sec) <5 <5 - -
    基座材質 SS41 Steel SS41 Steel Aluminum Aluminum Aluminum Aluminum
    應用 點到點
    使用環境 Class 10000