• 實績規格

    軸別 X軸(上軸) Y1軸(下軸) Y1軸(下軸)
    有效行程 600mm 900mm 900mm
    重現精度 1μm 2μm 2μm
    直線精度 5μm 5μm 5μm
    最大速度 500mm/sec 500mm/sec 500mm/sec
    傳動元件 無鐵心式線性馬達 無鐵心式線性馬達 無鐵心式線性馬達
    線性滑軌 P級 P級 P級
    底座材質 花崗岩 花崗岩 花崗岩
    線性光學尺 Renishaw_0.1μm Renishaw_0.1μm Renishaw_0.1μm