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    實績規格

    軸別 X1,X2軸(上軸) Y1,Y2軸(下軸) Z1,Z2,Z3軸
    有效行程 760mm 1200mm 100mm
    負載 20kg 50kg 6kg
    重現精度 ±20μm ±10μm ±20μm
    最大速度 1.1m/sec 1.1m/sec 0.3m/sec
    馬達種類 伺服馬達 線性馬達 伺服馬達
    線性光學尺 - RENISHAW_0.5μm -
    底座材質 鋁合金 鋁合金 鋁合金
    運動方式 點到點 點到點 點到點