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    實績規格

    軸別 Y軸(上軸) X軸(下軸) Z軸
    有效行程 300mm 300mm 45mm
    負載 15kg 40kg 20kg
    重現精度 ±2.5μm ±1μm ±2μm
    最大速度 500mm/sec 500mm/sec 10mm/sec
    平面精度 ±4μm/30mm ±3μm/30mm ±10μm
    直線精度 ±1.5μm/30mm ±1.5μm/30mm ±5μm
    線性滑軌 P級 P級 P級
    底座材質 鋁合金 花崗岩 鋁合金
    線性光學尺 RENISHAW_1μm RENISHAW_0.1μm RENISHAW_0.1μm
    馬達類型 棒狀線性馬達 棒狀線性馬達 伺服馬達