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實績規格
軸別
X軸
Y軸
有效行程
300mm
300mm
重現精度
1μm
1μm
最大速度
300mm/sec
300mm/sec
平面精度
10μm
10μm
直線精度
5μm
5μm
馬達種類
線性馬達
線性馬達
線性滑軌
P級
P級
底座材質
鋁合金
鋁合金
線性光學尺
Renishaw_0.1μm
Renishaw_0.1μm
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