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    特點說明

    ›› 容易實現高運動解析、優異Ripple、平面度、直線度、Pitch及Yaw等精度

    ›› 長期運作的高穩定性與可靠

    ›› 簡易機台組裝與精度調

    ›› 負載及適應重量變化能力

    ›› 機台結構簡單

    ›› 空氣消耗量,無須另外建置儲氣筒

    ›› 容許較大的外部供氣壓力變化而不會產生氣槌現象